
七星華創(chuàng)流量計
簡要描述:七星華創(chuàng)流量計流量傳感器采用毛細管傳熱溫差量熱法原理測量氣體的質量流量(無需溫度壓力補償)發揮效力。將傳感器加熱電橋測得的流量信號送入放大器放大, 放大后的流量檢測電壓與設定電壓進行比較, 再將差值信號放大后去控制調節(jié)閥門自動化方案,閉環(huán)控制流過通道的流量使之與設定的流量相等。分流器決定主通道的流量結構。
產(chǎn)品型號: D07系
所屬分類:天然氣流量計
更新時間:2023-03-24
廠商性質:生產(chǎn)廠家
品牌 | 其他品牌 | 產(chǎn)地類別 | 國產(chǎn) |
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應用領域 | 化工,生物產(chǎn)業(yè),石油,電子/電池,航空航天 |
七星華創(chuàng)流量計質量流量計(Mass Flow Meter 縮寫為 MFM) 用于對氣體的質量流量進行精密測量空間廣闊;質量流量控制器 (Mass Flow Controller 縮寫為 MFC) 用于對氣體的質量流量進行精密測量和控制落到實處。它們在半導體和集成電路工業(yè)、特種材料學科、化學工業(yè)營造一處、石油工業(yè)、醫(yī)藥線上線下、環(huán)保和真空等多種領域的科研和生產(chǎn)中有著重要的應用保供。其典型的應用場合包括: 電子工藝設備, 如擴散、氧化知識和技能、外延技術創新、CVD、等離子刻蝕進行部署、濺射生產體系、離子注入; 以及鍍膜設備、光纖熔煉重要作用、微反應裝置高質量、混氣配氣系統(tǒng)、毛細管測量很重要、氣相色譜儀及其它分析儀器。
七星華創(chuàng)流量計使用腐蝕性氣體問題:
流量計氣流通道采用的材料為: 00Cr17Ni14Mo2 (相當于 316L 不銹鋼),氟橡膠等耐蝕材料保護好。在用戶系統(tǒng)無水汽能力和水平、低泄漏、勤清洗健康發展、使用得當?shù)臈l件下結構不合理,可以用于控制一般的腐蝕性氣體。使用氨氣的用戶應在定貨時聲明深刻內涵。9E競爭力、9EM 型流量計產(chǎn)品不能用于有機溶劑蒸汽(如丙酮等)和 BCl3、BBr3 等強腐蝕性氣體逐步改善。閥口的密封材料通常為氟橡膠或耐氨橡膠特點,對于 9E 型質量流量控制器也可以選用聚四氟乙烯;當選用四氟乙烯時落實落細,閥口容易出現(xiàn)漏氣意見征詢,閥口密封的漏氣率小于滿量程流量的 2%;對于使用特殊腐蝕性氣體深入闡釋,所有密封材料都要作相應改變集聚。